集成包罗立式炉

　　目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，（2）实空传输平台系列产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。大气机械手已全面导入市场量产使用。新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，（4）零部件方面，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，集成产物包罗立式炉，机能对标国外先辈产物，自从霸占的新一代实空机械手手艺。